[发明专利]一种单晶二氧化钒薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201811583090.6 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109487338B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 徐晓峰;蒙奕帆;桑景新 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 黄志达 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种单晶二氧化钒薄膜的制备方法，包括：在c‑Al |
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| 搜索关键词： | 一种 单晶二 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种单晶二氧化钒薄膜的制备方法，包括：(1)在c‑Al2O3衬底上磁控溅射金属钒薄膜；(2)将上述金属钒薄膜在空气中进行氧化处理，自然冷却，即得单晶二氧化钒薄膜。
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