[发明专利]一种燃料电池双极板碳涂层连续沉积系统及其应用有效

专利信息
申请号: 201811584590.1 申请日: 2018-12-24
公开(公告)号: CN109576679B 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 毕飞飞;黎焕明;蓝树槐;徐一凡;姜天豪 申请(专利权)人: 上海治臻新能源股份有限公司
主分类号: B05D1/00 分类号: B05D1/00
代理公司: 上海世圆知识产权代理有限公司 31320 代理人: 陈颖洁;王佳妮
地址: 201306 上海市浦东新区自由*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明的一种燃料电池双极板碳涂层连续沉积系统,包括:进片室、进片过渡室、涂层工艺室、出片过渡室和出片室;进片室外一侧设有出口阀门,进片过渡室、涂层工艺室和出片过渡室的室外两侧分别设有进口阀门和出口阀门,出片室外一侧设有进口阀门;在每两个室之间设有传输室,通过阀门和传输室将各室按照顺序串联连接;样品传送装置穿过沉积系统的各室内部,形成一条闭合回路,样品架设在样品传送装置上;进片过渡室、涂层工艺室和出片过渡室内分别设有真空抽气装置;在涂层工艺室内的底部铺设有加热装置。本发明有效降低涂层沉积时间,实现工艺的连续化运行,对各级涂层工艺实现精确有效监管,提高了涂层的沉积效率,适用于大批量涂层的制备。
搜索关键词: 一种 燃料电池 极板 涂层 连续 沉积 系统 及其 应用
【主权项】:
1.一种燃料电池双极板碳涂层连续沉积系统,其特征在于,主要包括:进片室、进片过渡室、涂层工艺室、出片过渡室和出片室;所述进片室外一侧设有出口阀门,所述进片过渡室、涂层工艺室和出片过渡室的室外两侧分别设有进口阀门和出口阀门,所述出片室外一侧设有进口阀门;在所述的每两个室之间设有传输室,通过阀门和传输室将各室按照顺序串联连接;样品传送装置穿过所述沉积系统的各室内部,形成一条闭合回路,样品架设在所述的样品传送装置上;所述的进片过渡室、涂层工艺室和出片过渡室内分别设有真空抽气装置;在所述的涂层工艺室内的底部铺设有加热装置。
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