[发明专利]一种降低氮化镓晶体表面颗粒浓度的处理方法

摘要

本发明公开了一种降低氮化镓晶体表面颗粒浓度的处理方法，涉及氮化镓晶体表面处理技术领域，包括以下步骤：步骤1)、固定：步骤2)、抛光：步骤3)、表面硫醇处理。本发明方法简单实用，通过氮化镓的表面进行处理，去除氮化镓表面的天然氧化层，降低氮化镓与栅介质层、阻挡层之间的界面缺陷，降低漏电流，提升氮化镓的可靠性，通过硫醇的处理可以在氮化镓表面形成保护膜，防止氮化镓表面处理过后暴露在空气中发生再氧化，效的提高氮化镓的整体性能，延长了其整体使用寿命，在抛光的同时采用紫外线灯由上至下照射在晶体表面，可加速氧化剂与氮化镓晶片表面的化学反应速率，使晶片表面粗糙度降低，并能提高抛光速率。

主权项

1.一种降低氮化镓晶体表面颗粒浓度的处理方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1)、固定：S1、将氮化镓晶体通过石蜡固定在石英板上，除去多余石蜡，使得石蜡与石英板的便于留有2mol/L的距离；S2、将抛光垫贴在抛光盘上，利用环形压块将固定有氮化镓晶体的石英板压在抛光垫上。步骤2)、抛光：A1、通过电加热器对抛光液进行加热，同时向抛光液中添加磨料；A2、启动抛光机使抛光盘旋转进而带动氮化镓晶体以及环形压块进行旋转抛光。步骤3)、表面硫醇处理：B1、将抛光后的氮化镓晶体取出并依次使用丙酮、乙醇、清洗其表面；B2、将清洗后的氮化镓晶体放入盐酸溶液中浸泡，浸泡后采用去离子水冲洗后经氮气干燥处理；B3、将干燥后氮化镓晶体再次放入溶有硫醇的乙醇溶液中进行浸泡，浸泡后采用乙醇溶液进行超声清洗，同时通过氮气干燥；B4、将干燥后的氮化镓晶体放入反应离子刻蚀机的反应室内，同时经反应室抽成真空状，待气压小于8.0×10‑5托后，用氟等离子体对晶体表面进行处理，完成氮化镓晶体表面颗粒浓度降低。