[发明专利]一种薄膜晶体管及制作方法和显示面板有效
| 申请号： | 201811587013.8 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109713044B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 杨凤云;卓恩宗 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及制作方法和显示面板。薄膜晶体管包括衬底、第一金属层、第一绝缘层、有源层、掺杂层和第二金属层，其中所述第一金属层设置在所述衬底上；所述第一绝缘层设置在所述第一金属层上；所述有源层设置在所述第一绝缘层上；所述掺杂层设置在所述有源层上；所述第二金属层设置在所述掺杂层上；所述掺杂层包括数量为N的子掺杂层，所述N为大于或等于三的奇数，所述子掺杂层层叠设置，以中间的子掺杂层为对称轴，对称轴两侧相对应的子掺杂层掺杂浓度相等。在大于等于三的奇数层的子掺杂层中，对称结构的掺杂层降漏电效果最好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底；第一金属层，设置在所述衬底上；第一绝缘层，设置在所述第一金属层上；有源层，设置在所述第一绝缘层上；掺杂层，设置在所述有源层上；以及第二金属层，设置在所述掺杂层上；其中，所述掺杂层包括数量为N的子掺杂层，所述N为大于或等于三的奇数，所述子掺杂层层叠设置，以中间的子掺杂层为对称轴，对称轴两侧相对应的子掺杂层掺杂浓度相等。
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