[发明专利]光源分段的三步移相去除光学相干层析复共轭镜像系统

摘要

本发明涉及一种光源分段的三步移相去除光学相干层析复共轭镜像系统。包括钨卤素灯光源模块，用于发射钨卤素灯点光源，以检测待测样品；迈克尔逊干涉仪模块，包括凸透镜、第一柱透镜、第二柱透镜、分光镜、参考镜；二维光谱仪模块，包括反射式光栅、第三柱透镜、面阵CCD相机；移相器模块，为由可编程式直流电压源控制的压电陶瓷；计算机，用于对二维干涉条纹图像采集、移相器模块进行控制；图像处理软件模块，用于对所述的条纹图像信号进行处理，获得待测样品结构信息或表面轮廓信息以完成成像目的。本发明系统可以有效降低多色误差影响，极大地提高复共轭镜像抑制效果，有效去除了频域光学相干层析成像存在的复共轭镜像干扰，将光学相干层析系统的探测深度提高一倍。

主权项

1.一种光源分段的三步移相去除光学相干层析复共轭镜像系统，其特征在于，包括：钨卤素灯光源模块，用于发射钨卤素灯点光源，以检测待测样品；迈克尔逊干涉仪模块，包括凸透镜、第一柱透镜、第二柱透镜、分光镜、参考镜，凸透镜将钨卤素灯光源模块发射的点光源准直为平行光束，第一柱透镜将平行光束聚焦为焦线，而后由分光镜将第一柱透镜出射的光束分束为强度相等的两束光线，一束作为参考光汇聚于参考镜，另一束作为探测光汇聚于安装在待测样品安装架上的待测样品表面，两束光经反射至分光镜后重合发生干涉，并经第二柱透镜出射；二维光谱仪模块，包括反射式光栅、第三柱透镜、面阵CCD相机，经第二柱透镜出射的干涉光束经反射式光栅按波长在空间分光后由第三柱透镜汇聚成干涉谱线，由面阵CCD相机采集获得二维干涉光谱条纹；移相器模块，为由可编程式直流电压源控制的压电陶瓷，所述参考镜安装于所述压电陶瓷上，通过可编程式直流电压源对压电陶瓷输入不同的电压，驱动压电陶瓷实现纳米量级位移；计算机，用于对二维干涉条纹图像采集、移相器模块进行控制，并对传输到计算机的条纹图像信号进行存储和处理；所述计算机安装有图像处理软件模块，用于对所述的条纹图像信号进行处理，包括滤波、移相、复数信号重构、快速傅里叶变换，获得待测样品结构信息或表面轮廓信息以完成成像目的。