[发明专利]电容式MEMS加速度计机械梁刚度测量方法、装置和系统有效
| 申请号： | 201811589294.0 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109613302B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 董显山;黄钦文;朱军华;黄云;恩云飞 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P21/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黄隶凡 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种电容式MEMS加速度计机械梁刚度测量方法、装置和系统。所述方法包括：通过向加速度计施加预载电压，预载电压包括第一预载电压和第二预载电压；在加速度计受到的加速度发生变化时，获取加速度计在第一预载电压下输出的第一电压变化量，以及在加速度计受到的加速度发生变化时，获取加速度计在第二预载电压下输出的第二电压变化量；根据第一预载电压的第一静电负刚度、第二预载电压的第二静电负刚度、第一电压变化量和第二电压变化量，得到加速度计的机械梁刚度，从而可避免传统测量技术在测量机械梁刚度时因位移电容转换系数、惯性质量块质量等参数对测量精度造成的影响，提高了加速度计的机械梁刚度的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 加速度计 机械 刚度 测量方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种电容式MEMS加速度计机械梁刚度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：向加速度计施加预载电压；所述预载电压包括第一预载电压和第二预载电压；在所述加速度计受到的加速度发生变化时，获取所述加速度计在所述第一预载电压下输出的第一电压变化量，以及在所述加速度计受到的加速度发生变化时，获取所述加速度计在所述第二预载电压下输出的第二电压变化量；根据所述第一预载电压的第一静电负刚度、所述第二预载电压的第二静电负刚度、所述第一电压变化量和所述第二电压变化量，得到所述加速度计的机械梁刚度；所述第一静电负刚度为所述加速度计在所述第一预载电压下的机械梁刚度等效减小量；所述第二静电负刚度为所述加速度计在所述第二预载电压下的机械梁刚度等效减小量。
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