[发明专利]一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法有效

专利信息
申请号: 201811589898.5 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN109632112B 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 陈磊;杨影;丁煜;郑东晖;朱文华;韩志刚;郑权;孔璐;王冲;王云涛;杨光;吴志飞 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 薛云燕
地址: 210094 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法。该方法为:首先倾斜动态干涉仪中的参考镜,在同步移相干涉图中引入线性载频,采集载频同步移相干涉图,并分割为四个子干涉图;然后使用傅里叶滤波法解算每个子干涉图中的相位信息,并对其分别消倾斜,得到每个子干涉图所包含的待测相位信息;接着选取其中一个子干涉图包含的相位信息作为基准相位信息,采用快速相位相关配准法确定其他子干涉图包含的相位信息与基准相位信息的空间位置匹配误差;最后根据相位信息的空间位置匹配误差,确定子干涉图间的位置配准关系。本发明提高了动态干涉仪空间位置配准的自动化程度,空间位置配准的准确性和可靠性高,简单高效,适用范围广。
搜索关键词: 一种 动态 干涉仪 同步 相干 空间 位置 方法
【主权项】:
1.一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、倾斜动态干涉仪中的参考镜,在四个同步移相干涉图中同时引入线性载频,采集载频同步移相干涉图,并分割为四个子干涉图;步骤2、采用傅里叶滤波法解算每个子干涉图中的相位信息并进行消倾斜,得到每个子干涉图所包含的待测相位信息;步骤3、以其中一个子干涉图包含的相位信息作为基准相位信息,采用快速相位相关配准法,确定其他子干涉图包含的相位信息与基准相位信息的空间位置匹配误差;步骤4、根据相位信息的空间位置匹配误差,确定子干涉图间的位置配准关系。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京理工大学,未经南京理工大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811589898.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top