[发明专利]一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法有效
申请号: | 201811589898.5 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109632112B | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 陈磊;杨影;丁煜;郑东晖;朱文华;韩志刚;郑权;孔璐;王冲;王云涛;杨光;吴志飞 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 薛云燕 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法。该方法为:首先倾斜动态干涉仪中的参考镜,在同步移相干涉图中引入线性载频,采集载频同步移相干涉图,并分割为四个子干涉图;然后使用傅里叶滤波法解算每个子干涉图中的相位信息,并对其分别消倾斜,得到每个子干涉图所包含的待测相位信息;接着选取其中一个子干涉图包含的相位信息作为基准相位信息,采用快速相位相关配准法确定其他子干涉图包含的相位信息与基准相位信息的空间位置匹配误差;最后根据相位信息的空间位置匹配误差,确定子干涉图间的位置配准关系。本发明提高了动态干涉仪空间位置配准的自动化程度,空间位置配准的准确性和可靠性高,简单高效,适用范围广。 | ||
搜索关键词: | 一种 动态 干涉仪 同步 相干 空间 位置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、倾斜动态干涉仪中的参考镜,在四个同步移相干涉图中同时引入线性载频,采集载频同步移相干涉图,并分割为四个子干涉图;步骤2、采用傅里叶滤波法解算每个子干涉图中的相位信息并进行消倾斜,得到每个子干涉图所包含的待测相位信息;步骤3、以其中一个子干涉图包含的相位信息作为基准相位信息,采用快速相位相关配准法,确定其他子干涉图包含的相位信息与基准相位信息的空间位置匹配误差;步骤4、根据相位信息的空间位置匹配误差,确定子干涉图间的位置配准关系。
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