[发明专利]产生双图案光罩的处理方法以及其记录媒体

摘要

本发明提供一种产生双图案光罩的处理方法。处理方法包括取得接触窗分布图案，该接触窗分布图案包含多个接触窗。对该多个接触窗依照接触窗种类分类成阵列型、成对型、或是独立型的多个接触窗区块。拆解该多个接触窗成为第一图案群与第二图案群，其之间是交叉配置。第一图案群与该第二图案群的接触窗数量在误差范围内是一致。检查该第一图案群与该第二图案群是否有相邻二接触窗之间的距离小于最小距离，如果有改变该相邻二接触窗其一的当前图案群。输出该第一图案群或该第二图案群，以进行制造对应的第一光罩与第二光罩。