[发明专利]一种薄膜太阳能电池镀膜装置及其镀膜方法在审
| 申请号： | 201811592436.9 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109735808A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 赵树利 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种薄膜太阳能电池镀膜装置及其镀膜方法。本发明提供的镀膜装置，包括碱金属工艺腔室和镀覆有铜铟镓硒薄膜的基板，碱金属工艺腔室包括：至少两种碱金属蒸发源和碱金属控制器；其中，碱金属控制器与至少两种碱金属蒸发源连接，用于控制碱金属蒸发源的开关状态及其在碱金属工艺腔室内的位置。本发明提供的方案，引入多种碱金属蒸发源并根据预设的碱金属掺杂参数，控制碱金属蒸发源的开关状态及其位置，可实现碱金属蒸发源的种类、顺序等不同搭配，利用不同碱金属元素对铜铟镓硒膜层的处理效果的差异性，来改善铜铟镓硒薄膜性能，有效提高铜铟镓硒薄膜太阳能电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 碱金属 蒸发源 镀膜装置 薄膜太阳能电池 铜铟镓硒薄膜 工艺腔室 开关状态 控制器 镀膜 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 太阳能电池技术 光电转换效率 铜铟镓硒膜层 碱金属掺杂 碱金属元素 差异性 工艺腔 镀覆 基板 预设 搭配 室内 引入 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜太阳能电池镀膜装置，包括碱金属工艺腔室和镀覆有铜铟镓硒薄膜的基板，其特征在于，所述碱金属工艺腔室包括：至少两种碱金属蒸发源和碱金属控制器；其中，所述碱金属控制器与所述至少两种碱金属蒸发源连接，用于根据预设的碱金属掺杂参数，控制所述碱金属蒸发源的开关状态及其在所述碱金属工艺腔室内的位置。
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