[发明专利]一种基板交接装置及基板交接方法在审
| 申请号： | 201811592754.5 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111352305A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 朱岳彬;卢彧文;廖飞红;王理华 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种基板交接装置及基板交接方法。该基板交接装置包括运送台、工作台及移动气浮台，运送台用于在水平面内运送基板；工作台设置在运送台的下游，用于接收由运送台运送来的基板，基板的运送方向垂直于工作台上气浮导轨的延伸方向；移动气浮台具有工作位置和非工作位置，工作位置位于运送台与工作台之间，非工作位置位于运送台与工作台的上方或侧方，移动气浮台被配置为在工作位置和非工作位置之间移动，且在工作位置时能够支撑运送台与工作台之间的基板。本发明提供的基板交接装置及交接方法能够实现多块半板的同时交接，节约交接时间，提高兼容性和基板交接效率，实现了基板交接前后移动气浮台的避让，保障生产安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交接 装置 方法 | ||
【主权项】：
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