[发明专利]一种栓塞互联式的TSV结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201811593482.0 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN110010575B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 冯光建;王永河;马飞;程明芳;郁发新 | 申请（专利权）人： | 浙江集迈科微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L21/768 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 313100 浙江省湖州市长兴县经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种栓塞互联式的TSV结构及其制作方法，包括载板，载板上设置TSV孔，TSV孔深度小于载板厚度，金属柱生成在TSV孔内，金属柱的高度高于TSV孔深度，金属柱高于TSV孔深度的部分覆盖有金属层，金属层上表面布置RDL，金属柱包括固定部和金属柱本身，金属柱截面呈长方形，固定部全部在金属层内，金属柱上设置绝缘层；本发明提供提高了转接板的互联稳定性的一种栓塞互联式的TSV结构及其制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 栓塞 互联式 tsv 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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