[发明专利]一种涂覆氛围可控的涂覆设备在审
| 申请号： | 201811596085.9 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109465139A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 李春风 | 申请（专利权）人： | 威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B16/00 | 分类号： | B05B16/00;B05B16/40;B05C11/10;B05C15/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 何蔚 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种涂覆氛围可控的涂覆设备，其包括：涂覆主体、主设备密封舱、第一抽真空装置以及清洁气体供应装置。涂覆主体内置于主设备密封舱的内腔。清洁气体供应装置与主设备密封舱相连通。相较于传统设计方案，在上述技术方案中涂覆主体仅需内置于与之相适配的主设备密封舱中，通过第一抽真空装置与清洁气体供应装置的相互配合实现主设备密封舱内清洁气体的置换，从而可实现涂覆主体的无水无氧无尘工作氛围，无须建造专用的无尘涂覆室，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 密封舱 主设备 清洁气体 涂覆主体 供应装置 抽真空装置 涂覆设备 可控的 涂覆 无尘 传统设计 工作氛围 无水无氧 涂覆室 专用的 内腔 适配 置换 建造 配合 | ||
【主权项】：
1.一种涂覆氛围可控的涂覆设备，包括：涂覆主体，其特征在于，还包括：主设备密封舱、第一抽真空装置以及清洁气体供应装置；所述涂覆主体内置于所述主设备密封舱的内腔；所述清洁气体供应装置与所述主设备密封舱相连通；所述涂覆主体进行正式涂覆前，通过清洁气体供应装置向所述主设备密封舱充入清洁气体。
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