[发明专利]低温泵在审
| 申请号： | 201811597041.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111365213A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 林振旺;庄尚裕 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B39/06 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种低温泵，所述低温泵包括：压缩机，所述压缩机提供冷源；至少两个冷凝井，所述冷凝井分别与所述压缩机相连接，并与所述压缩机之间形成闭合循环回路；所述冷凝井分别与机台相连接，使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温，以通过所述冷凝井对所述机台进行抽气。本发明可实现冷凝井的交替再生，提高机台的稼动率，且根据机台的具体情况，可设置不同的冷凝井，在提高机台的稼动率的同时，还可降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 | ||
【主权项】：
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