[发明专利]一种用于具有图案的片状器件成组方法在审

专利信息
申请号: 201811597430.0 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109605907A 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 谭向全;吴清文;张旭升;王忠素;郭永飞;康玉思;申军立;姜爱民;郭亮;徐振邦 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B32B37/12 分类号: B32B37/12;G05D3/12
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 吴乃壮
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供了一种用于具有图案的片状器件成组方法,所述方法包括以下步骤:将第一片状器件放置于工作台的台面上;通过CCD检测第一片状器件上的图案信息透过光学镜头所成的像,并根据所述成像信息确定位置及角度调整信息,以及通过对中机构、工作台调整所述片状器件的位置及角度至预定位置;通过吸盘以负压吸附放置于工作台台面上的第一片状器件;夹取第二片状器件,并将第二片状器件放置在第一片状器件上;通过CCD观察光学镜头获得的第二片状器件的位置状态,通过对中机构和工作台将其调整至与第一片状器件位置偏移量满足预设精度要求。本发明能够实现多块片状器件的成组,提高了加工效率。
搜索关键词: 片状器件 工作台 对中机构 光学镜头 吸盘 角度调整信息 位置偏移量 图案 成像信息 负压吸附 加工效率 精度要求 图案信息 位置状态 预定位置 多块 夹取 预设 检测 观察
【主权项】:
1.一种用于具有图案的片状器件成组方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:将第一片状器件放置于工作台的台面上;通过CCD检测第一片状器件上的图案信息透过光学镜头所成的像,并根据所述成像信息确定位置及角度调整信息,以及通过对中机构、工作台调整所述片状器件的位置及角度至预定位置;通过吸盘以负压吸附放置于工作台台面上的第一片状器件;所述吸盘设置于工作台的下方;夹取第二片状器件,并将第二片状器件放置在第一片状器件上;通过CCD观察光学镜头获得的第二片状器件的位置状态,通过对中机构和工作台将其调整至与第一片状器件位置偏移量满足预设精度要求。
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