[发明专利]一种用于具有图案的片状器件成组用设备在审

专利信息
申请号: 201811597445.7 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109753085A 公开(公告)日: 2019-05-14
发明(设计)人: 谭向全;吴清文;张旭升;王忠素;郭永飞;康玉思;申军立;姜爱民;郭亮;徐振邦 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G05D3/10 分类号: G05D3/10
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 吴乃壮
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供了用于具有图案的片状器件成组用设备,所述设备包括升降台、吸附装置、工作台、对中机构、CCD、光学镜头、驱动装置;所述工作台设置于升降台的上方,用于放置待成组的片状器件;所述工作台的台面上设置有若干吸附孔隙,所述吸附装置设置于工作台的下方,并通过所述吸附孔隙以负压吸附片状器件;所述对中机构用于调节所述片状器件在工作台上的相对位置;所述光学镜头设置于片状器件的上方,所述CCD用于检测片状器件上的图案信息透过光学镜头所成的像。本发明通过CCD观察片状器件在光路中的位置,采用对中机构和工作台调整多块片状器件之间的相对位置,实现了多个具有图案片状器件的成组。
搜索关键词: 片状器件 工作台 对中机构 光学镜头 升降台 吸附装置 图案 吸附 负压吸附 驱动装置 图案信息 多块 光路 观察 检测
【主权项】:
1.一种用于具有图案的片状器件成组用设备,其特征在于,包括升降台、吸附装置、工作台、对中机构、CCD、光学镜头、驱动装置;所述工作台设置于升降台的上方,用于放置待成组的片状器件;所述工作台的台面上设置有若干吸附孔隙,所述吸附装置设置于工作台的下方,并通过所述吸附孔隙以负压吸附片状器件;所述对中机构用于调节所述片状器件在工作台上的相对位置,所述工作台能够在驱动装置的作用下发生转动;所述光学镜头设置于片状器件的上方,所述CCD用于检测片状器件上的图案信息透过光学镜头所成的像。
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