[发明专利]大口径平面镜的轮廓检测装置及其检测方法有效
申请号: | 201811598721.1 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109759953B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 戚二辉;罗霄;张学军;熊玲 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | B24B49/02 | 分类号: | B24B49/02 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 吴乃壮 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供了一种大口径平面镜的轮廓检测装置及其检测方法,包括机床、设置于机床上的旋转台、移动机构、摆臂轮廓仪、电子水平仪以及被检平面镜,被检平面镜设置于旋转台上,旋转台带动被检平面镜绕被检平面镜的轴线转动。摆臂轮廓仪包括依次连接的摆臂转台、摆臂杆和摆臂测头,摆臂测头对应被检平面镜的被检面设置,摆臂转台与移动机构连接,电子水平仪设置于移动机构上,电子水平仪与摆臂转台跟随移动机构同步移动。本技术方案,将摆臂轮廓仪和电子水平仪集成在机床上组合使用,不需要在加工工位和检测工位之间往复运输,缩短了加工周期,且对机床滑轨误差进行了有效抑制,扩大了摆臂轮廓仪的应用范围。 | ||
搜索关键词: | 口径 平面镜 轮廓 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种大口径平面镜的轮廓检测装置,其特征在于,包括机床、设置于所述机床上的旋转台、移动机构、摆臂轮廓仪、电子水平仪以及被检平面镜,其中,所述被检平面镜设置于所述旋转台上,所述旋转台带动所述被检平面镜绕所述被检平面镜的轴线转动;所述摆臂轮廓仪包括依次连接的摆臂转台、摆臂杆和摆臂测头,所摆臂转台带动所述摆臂杆转动使得所述摆臂测头对应所述被检平面镜的被检面设置,所述摆臂转台与所述移动机构连接,且所述移动机构带动所述摆臂转台沿所述机床的工作平面移动;所述电子水平仪设置于所述移动机构上,所述电子水平仪与所述摆臂转台跟随所述移动机构同步移动。
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