[发明专利]校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置在审
| 申请号： | 201811599444.6 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN110045755A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·霍克;帕特里克·洛厄里;比尔·怀特;约翰·迪克;安田忠弘;吉田友洸 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01D21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了提供不需要重新组装流体控制阀就能够以无级方式制作校准数据的校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置，校准数据制作装置制作位置传感器的校准数据，位置传感器设于控制流体的流体控制阀，输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对应的输出值，所述校准数据制作装置包括：流量传感器；压差控制机构；温度控制机构；以及控制部，所述控制部包括：输出值取得部；阀开度控制部；以及校准数据制作部。 | ||
| 搜索关键词： | 校准数据 制作装置 流量控制装置 流体控制阀 制作 输出 温度控制机构 压差控制机构 流量传感器 位置传感器 分离方向 控制流体 制作位置 重新组装 传感器 阀开度 上移动 阀体 阀座 无级 | ||
【主权项】：
1.一种校准数据制作装置，其制作位置传感器的校准数据，所述位置传感器设置于控制流体的流体控制阀，输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对应的输出值，所述校准数据制作装置的特征在于，所述校准数据制作装置包括：流量传感器，测量向所述流体控制阀流动的流体的流量；压差控制机构，控制所述流体控制阀的上游与下游之间的压差；温度控制机构，控制所述流体控制阀的温度；以及控制部，在通过所述压差控制机构以使通过所述流体控制阀的流体成为音速的方式控制所述压差的状态下，通过所述温度控制机构使所述流体控制阀的温度从基准温度改变为与所述基准温度不同的比较温度，所述控制部包括：输出值取得部，取得分别从所述位置传感器和所述流量传感器输出的所述基准温度下的基准输出值；阀开度控制部，在通过所述温度控制机构控制为所述比较温度的状态下，以使从所述位置传感器和所述流量传感器中的一方输出的输出值成为所述一方的所述基准输出值的方式对所述流体控制阀的阀开度进行控制；以及校准数据制作部，在通过所述阀开度控制部控制所述流体控制阀的阀开度之后，基于从所述位置传感器和所述流量传感器中的另一方输出的校准数据制作用输出值制作校准数据。
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