[发明专利]一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件及其制备方法有效
申请号: | 201811599727.0 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109671873B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 祝树炜;魏斌;严利民;王伟;钱强;叶丛卓 | 申请(专利权)人: | 上海晶合光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 代芳 |
地址: | 200120 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件的制备方法,包括以下步骤:在ITO导电玻璃上进行ITO模块化刻蚀,在得到的模块化的ITO层上制备金属导电层,得到模块化ITO电极;在所述模块化ITO电极上制备图案化绝缘层,得到图案化电极;然后依次蒸镀有机层和金属电极,得到可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件。本发明在阴阳极之间引入图案化绝缘层,仅对单侧电极进行模块化处理,制备成本低,工艺简单,不需要昂贵的金属掩膜板以及精密的机械贴合工艺,产品良率保持不变,并且可实现镂空图案的电致发光器件的制备。本发明还提供了一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件,其图案精确可靠。 | ||
搜索关键词: | 一种 分立 控制 电极 图案 有机 电致发光 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在ITO导电玻璃上进行ITO模块化刻蚀,得到模块化的ITO层;(2)在所述模块化的ITO层上制备金属导电层,得到模块化ITO电极;(3)在所述模块化ITO电极上制备图案化绝缘层,得到图案化电极;(4)在所述图案化电极上蒸镀有机层,所述有机层自下而上依次为空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层;(5)在所述有机层表面蒸镀金属电极,得到可分立控制的底电极图案化有机电致发光器件。
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