[发明专利]应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法在审
| 申请号： | 201811601366.9 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109709023A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 刘红霞;郭昊;郁忠杰;李加;宁尚清 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，该技术的检测方法采用LPC设备。该颗粒的检测方法主要包括以下步骤：(1)将零件用IPA擦拭；(2)纯水喷洗零件；(3)热水喷洗零件；(4)装有纯水的超声波槽里振；(5)纯水冲洗零件；(6)氮气吹干零件；(7)LPC测试空白；(8)LPC测试放入槽里的零件；(9)检测完后记录结果，将零件清洗、吹干、包装。采用该方法可以检测到零件表面颗粒物在规定的范围内是否达标，能否符合要求，同时降低了零件之间组装的污染，可有效提高零部件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 半导体领域 氧化钇涂层 喷洗 测试 超声波槽 纯水冲洗 氮气吹干 记录结果 零件表面 零件清洗 使用寿命 放入槽 颗粒物 吹干 擦拭 应用 零部件 组装 达标 污染 | ||
【主权项】：
1.一种应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，检测方法主要包括以下几个步骤：1)将零件用IPA擦拭；2)纯水喷洗零件；3)使用热水喷洗零件；4)放入装有纯水的超声波槽里振；5)使用纯水冲洗零件；6)使用氮气吹干零件；7)LPC测试空白颗粒，超声波槽里纯水及夹具表面的颗粒；8)LPC测试槽体中零件表面所带的颗粒；9)检测完后记录结果，将零件清洗、吹干、包装。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳富创精密设备有限公司，未经沈阳富创精密设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811601366.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
