[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池的制备方法在审

专利信息
申请号: 201811601742.4 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109713127A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 常晶晶;黄相平;林珍华;苏杰;郝跃 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: H01L51/42 分类号: H01L51/42;H01L51/48;C23C14/58;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/18
代理公司: 陕西电子工业专利中心 61205 代理人: 田文英;王品华
地址: 710071 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种钙钛矿太阳能电池的制备方法,在钙钛矿光吸收层上制备一层薄金属,采用原位氧化的方法,将薄金属层氧化为一层金属氧化物,金属氧化物层作为钙钛矿太阳能电池的电荷传输层,增加了传输层的致密性,同时避免了传统溶液法制备传输层时,传输层前驱溶液的溶剂对钙钛矿薄膜的影响。采用本发明的方法制备的钙钛矿太阳能电池成本低,稳定性好,钙钛矿光吸收层薄膜完整性好。
搜索关键词: 钙钛矿 太阳能电池 制备 传输层 光吸收层 金属氧化物层 薄膜完整性 电荷传输层 钙钛矿薄膜 金属氧化物 薄金属层 传统溶液 前驱溶液 原位氧化 薄金属 致密性 溶剂
【主权项】:
1.一种钙钛矿太阳能电池的制备方法,其特征在于,在钙钛矿光吸收层上制备上层电荷传输层的前体薄金属层,将前体薄金属层原位氧化成一层金属氧化物层,将该层金属氧化物层作为钙钛矿太阳能电池的上层电荷传输层,该方法的具体步骤包括如下:(1)预处理钙钛矿太阳能电池衬底:(1a)将钙钛矿太阳能电池衬底依次放入Decon‑90清洗剂、去离子水、丙酮、酒精、去离子水中进行超声清洗;(1b)将超声清洗过的衬底放入紫外臭氧UV‑zone进行预处理,得到预处好理后的衬底;(2)制备下层电荷传输层:使用匀胶机,将配制好的下层电荷传输层的前驱溶液旋涂到预处理好的衬底上,将旋涂后的衬底放置在热台上进行退火,得到钙钛矿太阳能电池的下层电荷传输层;(3)采用溶液涂布法,在下层电荷传输层上制备钙钛矿光吸收层;(4)制备上层电荷传输层的前体薄金属层:使用磁控溅射镀膜仪或热蒸镀机,在钙钛矿光吸收层上制备厚度为20nm上层电荷传输层的前体薄金属层;(5)制备上层电荷传输层:使用紫外臭氧UV‑zone,将前体薄金属层原位氧化成一层金属氧化物层,将该层金属氧化物层作为钙钛矿太阳能电池的上层电荷传输层;(6)制备顶层金属电极:使用真空镀膜仪,在上层电荷传输层上蒸镀钙钛矿太阳能电池的金属电极,完成钙钛矿太阳能电池的制备。
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