[发明专利]一种基于反射延迟线的无线无源声表面波电流传感器在审
申请号: | 201811603905.2 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN111366768A | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 王文;孙媛;贾雅娜;范淑瑶;梁勇;刘梦伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院声学研究所 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00 |
代理公司: | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人: | 陈琳琳;杨青 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于反射延迟线的无线无源声表面波电流传感器,所述声表面波电流传感器包括压电晶体基片(21)、叉指换能器(22)和声表面波反射型延迟线(23);所述声表面波反射型延迟线(23)包括沿声表面波的传播方向上设置的第一短路栅反射器(231)、第二短路栅反射器(232)、第三短路栅反射器(233);所述的第一反射器(231)与第二反射器(232)之间设置有磁致伸缩薄膜(24)。本发明具有高精度,高灵敏度,体积小,重量轻,功耗低的优点;具有良好的稳定性,能够快速响应,制作成本低;可实现无线无源测量方式,特别适合于高温高压及无人值守等极端应用环境,极具应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 反射 延迟线 无线 无源 表面波 电流传感器 | ||
【主权项】:
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