[发明专利]一种埋入式法珀微腔超高压力光纤传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201811604009.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109580056A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 江俊峰;王双;齐晓光;刘铁根;刘琨;吕致超 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L1/26;G01L11/02;G01L19/06 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种埋入式法珀微腔超高压力光纤传感器及其制作方法，包括光纤(1)、玻璃管(2)和法珀微腔(4)，所述法珀微腔(4)由Pyrex玻璃基底(3)和覆盖于所述Pyrex玻璃基底(3)开放端的弹性膜片(5)构成，光纤(1)与法珀微腔(4)通过玻璃管(2)进行轴向配置并固定，玻璃管(2)对光纤(1)及法珀微腔(4)进行可靠的支撑，使得传感器承受住超高压力冲击。与现有技术相比，本发明获得了较高的抗压强度和対正精度，因而能够实现超高压力测量；使光纤法珀超高压力传感器的设计更加简单灵活；避免了温度及环境波动带来的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 法珀 微腔 超高压力 玻璃管 光纤传感器 光纤 玻璃基 埋入式 超高压力传感器 弹性膜片 光纤法珀 环境波动 轴向配置 传感器 制作 测量 灵活 覆盖 支撑 开放 | ||
【主权项】：
1.一种埋入式法珀微腔超高压力光纤传感器，包括光纤(1)、玻璃管(2)和法珀微腔(4)，其特征在于，所述法珀微腔(4)由Pyrex玻璃基底(3)和覆盖于所述Pyrex玻璃基底(3)开放端的弹性膜片(5)构成，光纤(1)与法珀微腔(4)通过玻璃管(2)进行轴向配置并固定，玻璃管(2)对光纤(1)及法珀微腔(4)进行可靠的支撑，使得传感器承受住超高压力冲击。
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