[发明专利]一种多通道法布里-珀罗滤光片及其制备方法在审
| 申请号： | 201811605926.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109655955A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 杨海贵;高劲松;王笑夷;李资政;刘海;王延超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 吴乃壮 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多通道法布里‑珀罗滤光片及其制备方法，在多通道法布里‑珀罗滤光片制备过程中，采用聚焦离子束刻蚀的方法而达到仅需一次刻蚀就能集成多个通道。聚焦离子束刻蚀为计算机控制下的无掩膜刻蚀方法，可以直接对于高光谱滤光片不同位置的法布里‑珀罗腔层进行不同时间的刻蚀，从而利用单个刻蚀工艺实现多个通道的腔长长度的调节。 | ||
| 搜索关键词： | 多通道 法布里 滤光片 刻蚀 聚焦离子束刻蚀 制备 法布里-珀罗滤光片 计算机控制 刻蚀工艺 制备过程 高光谱 珀罗腔 腔长 掩膜 | ||
【主权项】：
1.一种多通道法布里‑珀罗滤光片的制备方法，其特征在于，所述滤光片的制备方法包括以下步骤：S1：提供一基底，在所述基底上形成第一膜系；S2：在所述第一膜系上形成法布里‑珀罗腔层，采用聚焦离子束对所述法布里‑珀罗腔层进行刻蚀，以形成多个具有不同厚度的法布里‑珀罗腔；S3：在所述法布里‑珀罗腔上形成第二膜系，以形成多通道法布里‑珀罗滤光片。
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