[发明专利]光照射装置在审

专利信息
申请号: 201811606724.5 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN109976102A 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: 紫藤和孝;木暮靖男 申请(专利权)人: 豪雅冠得股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 青岛智地领创专利代理有限公司 37252 代理人: 肖峰;陈海滨
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种实现陡峭地立起的照射强度分布的光照射装置。光照射装置(100)具有:多个发光元件(110~140),所述多个发光元件二维配置在基台(105)上,使光轴的朝向一致;以及光阑部件(160),所述光阑部件具有矩形开口(170),配置为将来自于多个发光元件的光成型为矩形状。多个发光元件包含以与光阑部件的矩形开口的各角部分别对应的方式配置的4个角部发光元件(110~140)。角部发光元件配置为,从该角部发光元件射出的光,照射构成与该角部发光元件对应的角部的矩形开口的2边,不照射其它2边。
搜索关键词: 发光元件 角部 光照射装置 光阑部件 矩形开口 照射 发光元件配置 朝向一致 二维配置 方式配置 强度分布 矩形状 光轴 基台 立起 射出 成型 陡峭 配置
【主权项】:
1.一种光照射装置,所述光照射装置用于对照射对象物上的照射区域进行照射,其特征在于,具有:多个发光元件,所述多个发光元件二维配置在基台上,使光轴的朝向一致;以及光阑部件,所述光阑部件具有矩形开口,配置为将来自于所述多个发光元件的光成型为矩形状,所述多个发光元件包含4个角部发光元件,所述4个角部发光元件配置为,分别与所述光阑部件的矩形开口的各角部对应,所述角部发光元件配置为,从所述角部发光元件射出的光,照射构成与所述角部发光元件对应的所述角部的矩形开口的2边,不照射其它2边。
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