[发明专利]一种应用于超纯水的制备结构及其处理工艺

摘要

本发明属于石英砂原料或高纯砂生产应用技术领域，具体涉及一种应用于超纯水的制备结构，由预处理组件，及与预处理组件相配合使用的二级RO过滤组件，及与二级RO过滤组件相配合使用的EDI过滤组件组成。本发明的一种应用于超纯水的制备结构及其处理工艺的有益效果在于：其设计结构合理，能高效、高质的制备电阻率15MΩ.cm（25℃）的超纯水，且实现智能环保无污染的纯水的生产作业，进而提高石英砂原料、高纯砂、单晶硅/多晶硅半导体、太阳能电池片生产等的生产效率和质量。

主权项

1.一种应用于超纯水的制备结构，其特征在于：由预处理组件，及与预处理组件相配合使用的二级RO过滤组件，及与二级RO过滤组件相配合使用的EDI过滤组件组成；所述预处理组件，包括原水箱（1），及与原水箱（1）相配合使用的原水输送泵（2），及与原水输送泵（2）相配合使用的多介质过滤器（3），及设置在多介质过滤器（3）内且相配合使用的第一滤板（4）、石英砂滤料（5），及与多介质过滤器（3）相配合使用的第一增压输水泵（6），及与第一增压输水泵（6）相配合使用的活性碳过滤器（7），及设置在活性碳过滤器（7）内且相配合使用的第二滤板（8）、活性炭滤料（9），及与活性碳过滤器（7）相配合使用的第二增压输水泵（10），及与第二增压输水泵（10）相配合使用的第一加药箱（11），及与第一加药箱（11）相配合使用的加药泵（12）、储药箱（13），及与第一加药箱（11）相配合使用的第三增压输水泵（13‑1），及与第三增压输水泵（13‑1）相配合使用的保安过滤器（14），其中，保安过滤器（14）内设置有相配合使用的过滤筒体、过滤芯和压力表，且相配合使用的部件间通过导水管连接；所述二级RO过滤组件，包括与保安过滤器（14）相配合使用的第一高压泵（15），及与第一高压泵（15）相配合使用的第一反渗透装置（16），及与第一反渗透装置（16）相配合使用的第一辅助输送泵（29），及与第一辅助输送泵（29）相配合使用的第一RO水箱（17），及与第一RO水箱（17）相配合使用的第二高压泵（18），及与第二高压泵（18）相配合使用的第二反渗透装置（19），及与第二反渗透装置（19）相配合使用的第二辅助输送泵（28），及与第二辅助输送泵（28）相配合使用的第二RO水箱（20），其中，相配合使用的部件间通过导水管连接；所述EDI过滤组件，包括EDI过滤箱（22），及两端分别与EDI过滤箱（22）相配合使用的第四增压输水泵（21），及与EDI过滤箱（22）相配合使用的第三辅助输送泵（23），及与的第三辅助输送泵（23）相配合使用的终端纯水水箱（24），其中，相配合使用的部件间通过导水管连接；所述预处理组件的导水管、二级RO过滤组件的导水管、EDI过滤组件的导水管上分别设置有相配合使用的电磁阀。