[发明专利]加工装置

摘要

提供加工装置，防止环状框架在保持单元中的横向偏离，并抑制保持单元旋转时的紊流的产生。加工装置(1)具有对框架单元(U)进行保持的保持单元(97)，该框架单元是在环状框架(F)中收纳晶片并借助粘接带(T)进行了一体化而得的，该环状框架在具有对晶片进行收纳的开口的板的外周按照90度的间隔形成有四条边。保持单元包含与环状框架的四条边相对应的四个爪部(96)。四个爪部分别具有：前端部(96b)，相向的两个前端部的间隔形成得比环状框架的相向的两个边之间的距离大并且比环状框架的最外周的直径小；以及基部(96a)，其对环状框架进行支承。在基部中形成有固定槽(96c)，使框架单元在与保持单元的旋转方向相反的方向上旋转而将环状框架固定于固定槽。

主权项

1.一种加工装置，其具有对框架单元进行保持的保持单元，该框架单元是在环状框架中收纳晶片并借助粘接带进行了一体化而得的，该环状框架在具有对该晶片进行收纳的开口的环状板的外周按照90度的间隔形成有四条边，该加工装置使该保持单元旋转并对晶片提供液体而实施规定的处理，其中，该保持单元具有：晶片保持部，其对晶片区域进行吸引保持；以及四个爪部，它们与该环状框架的该四条边相对应，该四个爪部分别包含：前端部，相向的两个该爪部的该前端部的间隔形成得比该环状框架的相向的两条边之间的距离大，并且比该环状框架的最外周的直径小；以及基部，其对该环状框架进行支承，在该基部中形成有固定槽，使所收纳的该框架单元在与该保持单元的旋转方向相反的方向上旋转从而将该环状框架固定于该固定槽。