[发明专利]一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201811607390.3 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109695034A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 王琮;梁峻阁;强天;邹伟民;孟雨亭 | 申请（专利权）人： | 江苏传艺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 周中民 |
| 地址： | 225600 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法，其为通过气溶胶沉积法来制备湿敏薄膜的方法，所述所述气溶胶沉积法通过将脆性材料微粒喷射到基底上来形成薄膜，通过将所述脆性材料凝聚成的作为集合体的调制粒子收容在收容装置中，从所述收容装置向气溶胶化装置供给所述调制粒子，在所述气溶胶化装置中将所述供给的所述调制粒子破碎而形成气溶胶，通过喷嘴向玻璃基板上喷射所述气溶胶从而形成湿敏薄膜。本文提出并分析了表面亲水性，开孔容积和开孔比这些与厚度相关的湿敏效应的关键因素，物理模型表明气溶胶制备的膜具有扩大的湿度检测范围，提高了水蒸气吸附和解吸能力并提高了对湿度的敏感性。 | ||
| 搜索关键词： | 湿敏薄膜 制备 调制 气溶胶沉积法 气溶胶化 收容装置 气溶胶 传感器 开孔 粒子 喷射 脆性材料微粒 表面亲水性 气溶胶制备 水蒸气吸附 玻璃基板 脆性材料 关键因素 解吸能力 粒子破碎 湿度检测 物理模型 喷嘴 集合体 基底 薄膜 应用 收容 凝聚 分析 | ||
【主权项】：
1.一种应用于传感器的湿敏薄膜制备方法，其为通过气溶胶沉积法来制备湿敏薄膜的方法，所述气溶胶沉积法通过将脆性材料微粒喷射到基底上来形成薄膜，其特征在于，通过将所述脆性材料凝聚成的作为集合体的调制粒子收容在收容装置中，从所述收容装置向气溶胶化装置供给所述调制粒子，在所述气溶胶化装置中将所述供给的所述调制粒子破碎而形成气溶胶，通过喷嘴向玻璃基板上喷射所述气溶胶从而形成湿敏薄膜。
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