[发明专利]喷头清洗结构及方法在审
| 申请号： | 201811607461.X | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109663775A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 周世均 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/04;B08B13/00;G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷头清洗结构，包含有：清洗槽，所述清洗槽为一容器，能容纳清洗剂；喷头，所述喷头位于清洗槽的上方，且能上下活动，活动范围为上止点与下止点之间；在喷头上止点与下止点之间的路径上两边，还具有高压气体喷嘴，能喷射高压气体。所述的喷头在运动到下止点时，喷头浸没于清洗槽内的清洗剂中进行清洗，然后再向上往上止点运动过程中，当运动到高压气体喷嘴的喷射范围时，所述高压气体喷嘴向喷头喷射高压气体。如此反复几次，在高压气体的吹扫下，喷头上的玷污比较容易被去除干净，从而改善玷污问题。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头 清洗槽 高压气体喷嘴 下止点 清洗剂 喷射高压气体 喷头清洗 上止点 玷污 高压气体 上下活动 运动过程 浸没 吹扫 止点 去除 喷射 清洗 两边 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种喷头清洗结构，其特征在于：清洗槽，所述清洗槽为一容器，能容纳清洗剂；喷头，所述喷头位于清洗槽的上方，且能上下活动，活动范围为上止点与下止点之间；在喷头上止点与下止点之间的路径上两边，还具有高压气体喷嘴，所述高压气体喷嘴朝向喷头的运动路径，能喷射高压气体。
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