[发明专利]一种离子注入模型的参数提取方法

摘要

本发明公开了一种离子注入模型的参数提取方法，其将蒙特卡罗仿真模型的数值仿真结果以注入深度‑离子浓度的形式导出得到散点数据，并形成曲线，针对单峰曲线，将其分为4段区域，并针对其中第一、二区域采用联合半高斯拟合，针对第三、四区域采用尾函数与联合半高斯函数的线性组合进行拟合；针对双峰曲线，将其分为5段区域，并针对第一、二、四、五区域采用联合半高斯函数拟合，针对第三区域采用两个联合半高斯函数的组合函数进行拟合，大大提高了离子注入模型的拟合精度。

主权项

1.一种离子注入模型的参数提取方法，其特征在于：其包括以下步骤，1)获取TCAD蒙特卡罗仿真模型的数值仿真结果；2)将所述数值仿真结果以注入深度‑离子浓度的形式导出得到散点数据(x_i,N₀(x_i))，i＝1,2,L,n，其中x_i为注入深度，N₀(x_i)为对应的离子浓度；3)将所述散点数据形成曲线图；4)若所述曲线图是单峰曲线类型，则建立所述曲线图的拟合函数，即离子注入模型为其中，x表示器件深度，N(x)表示离子浓度；其中，N_m为注入离子浓度的峰值，R_m为N_m对应注入深度x的数值，x_T1为第二分段点，k为权重系数且k＞0；5)若所述曲线图是双峰曲线类型，则建立所述曲线图的拟合函数，即离子注入模型为其中，x表示器件深度，N(x)表示离子浓度；p_i＝[N_mi,η_i,R_mi,L_i,α_i]，p₃＝[N_m2,η₃₁,R_m2,L₃₁,α₃₁；N_m4,η₃₂,R_m4,L₃₂,α₃₂]；其中，x_T1、x_T2、x_T4、x_T5分别为第一、二、三、四分段点，且x_Ti＝R_mi(i＝1,2,4,5)，N_mi为对应注入深度区域内注入离子浓度的峰值，R_mi为N_mi对应的注入深度x的数值；6)求解离子注入模型参数。