[发明专利]一种TiSiVN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201811610617.X | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109576643A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 郭光宇;郑李娟;王成勇;赖志伟;杨简彰;林海生;袁尧辉 | 申请（专利权）人： | 科汇纳米技术（深圳）有限公司;广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陈文福 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种TiSiVN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法，涉及刀具涂层领域,该刀具涂层包括依次沉积于刀具基体表面的TiN结合层、TiSiVN梯度层和TiSiVN功能层,所述TiSiVN梯度层为不同V含量叠层结构，V含量随着涂层叠层增加而增加,所述TiSiVN多组元复合梯度刀具涂层总厚度为1‑10um，本发明在TiSiN涂层中加入V元素可改善TiSiN涂层结构，提高其耐磨性、耐腐蚀性以及抗热震性能，同时，在TiSiVN涂层中，通过生成的Si3N4包覆纳米晶过渡金属氮化物(TiN），大大细化了晶粒以及增加了涂层硬度，选用TiN作为打底层能提高打底层与基体的结合力，同时与TiSiVN涂层有更好的适应性，有效降低因为涂层间材料不匹配而造成的内应力增大问题。 | ||
| 搜索关键词： | 刀具涂层 复合梯度 多组元 打底层 梯度层 制备 过渡金属氮化物 抗热震性能 耐磨性 晶粒 刀具基体 叠层结构 耐腐蚀性 涂层结构 涂层硬度 层叠层 功能层 结合层 结合力 纳米晶 包覆 细化 沉积 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种TiSiVN多组元复合梯度刀具涂层，其特征在于：包括依次沉积于刀具基体表面的TiN结合层、TiSiVN梯度层和TiSiVN功能层,所述TiSiVN梯度层为不同V含量叠层结构，V含量随着涂层叠层增加而增加, 所述TiSiVN多组元复合梯度刀具涂层总厚度为1‑10um。
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