[发明专利]一种制备金刚石膜的装置及方法

摘要

本发明提供一种制备金刚石膜的装置，其采用微波等离子体化学气相沉积装置，该装置包括微波系统、真空系统、供气系统和等离子体反应室，等离子体反应室中设有一自旋转基片台，工作过程中微波系统产生的微波进入等离子体反应室，在自旋转基片台上方激发供气系统提供的气体产生等离子体球，在自旋转基片台上设置一个衬底材料，衬底材料靠近外缘有一个环形凹坑，凹坑中填充一种金属材料，该金属材料高出衬底材料表面，形成一个环形金属凸起。本发明的优点在于，通过对衬底材料的改进，使成膜基底材料表面在沉积金刚石膜时具有比较合适的气流分布和等离子体分布。