[发明专利]顶针高度调节装置及反应腔室

摘要

本申请公开了一种顶针高度调节装置及反应腔室，该顶针高度调节装置包括：升降托，顶针的底部位于升降托上，且升降托底部设置第一斜面和第二斜面；第一调节块，第一调节块的顶部设置有第三斜面，第一斜面和第三斜面相对匹配设置；第二调节块，第二调节块的顶部设置有第四斜面，第二斜面和第四斜面相对匹配设置；驱动机构，用于驱动第一调节块和第二调节块，使第一调节块和第二调节块在安装板上横向移动，驱动升降托的纵向移动以改变顶针的高度。为顶针高度的调整提供了更为便利的调节方案，避免了因多个顶针形成的支撑面不平导致衬底颗粒、以及在机械手传片时衬底位置变化甚至滑片等问题。

主权项

1.一种顶针高度调节装置，其特征在于，包括：升降托，所述升降托内设置有用于容纳顶针的容纳槽，且所述升降托底部设置第一斜面和第二斜面，所述第一斜面与所述第二斜面对称；第一调节块，所述第一调节块的顶部设置有第三斜面，所述第一斜面和所述第三斜面相对匹配设置，且第一调节块通过所述第三斜面支撑所述升降托；第二调节块，所述第二调节块的顶部设置有第四斜面，所述第二斜面和所述第四斜面相对匹配设置，且第二调节块通过所述第四斜面支撑所述升降托；驱动机构，用于驱动所述第一调节块和所述第二调节块，使所述第一调节块和所述第二调节块在安装板上横向移动，驱动所述升降托的纵向移动以改变所述顶针的高度；安装板，用于安装所述第一调节块，所述第二调节块以及所述驱动机构，所述安装板通过固定销安装于反应腔室内的底面上。