[发明专利]一种蒸发镀膜设备、其蒸发源蒸发控制系统和方法在审
| 申请号： | 201811614317.9 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111378931A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 朱治宇 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发镀膜设备、其蒸发源蒸发控制系统和方法，该蒸发镀膜设备，包括：蒸发坩埚，所述蒸发坩埚内设置有用于蒸发的蒸发源；支架，所述蒸发坩埚放置于所述支架上方；加热器层，所述加热器层设置于所述蒸发坩埚的外周；称重装置，所述称重装置设置于所述支架底部，并测量所述蒸发坩埚内蒸发源的当前重量。本发明所提供的蒸发镀膜设备、其蒸发源蒸发控制系统和方法以当前蒸发源中原料剩余数量为依据，实时反馈蒸发源的蒸发速率，并在控制器中进行滤波和运算，计算出当前的蒸发速率，通过分段比对的方式，较为精准地对输出功率进行调节，以实现将金属蒸发源的蒸发速率控制到设定的蒸发速率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 镀膜 设备 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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