[发明专利]一种电子束蒸发镀镍的方法在审
| 申请号： | 201811615221.4 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109628893A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘齐成 | 申请（专利权）人： | 广州海鸥住宅工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/16;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 511400 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种电子束蒸发镀镍的方法，包括，S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；S2、利用电子束对镍靶材进行预融；S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的镍靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀镍，其中，所述电子束的功率为40‑70kW，通过将电子束蒸发镀镍的功率提高到40‑70kW，提高蒸镀速率，短时间内即可得到1μm以上的厚膜，在S3步骤中，通过对工件进行高能量密度的电子束扫描，使工件表面杂质蒸发去除，并对工件进行预热，增强膜层牢固性，该电子束扫描过程仅需1分钟，即可达到增加膜与工件结合力的效果，操作简便，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束蒸发 镀镍 电子束扫描 电子束 镍靶材 预热 电子束轰击 工件表面 清洗工件 真空条件 高能量 结合力 牢固性 增强膜 厚膜 蒸镀 去除 蒸发 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种电子束蒸发镀镍的方法，其特征在于，包括，S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；S2、利用电子束对镍靶材进行预融；S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的镍靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀镍，其中，所述电子束的功率为40‑70kW。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州海鸥住宅工业股份有限公司，未经广州海鸥住宅工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811615221.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
