[发明专利]一种大口径反射镜面形的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201811618065.7 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109855561B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王孝坤;蔡志华;胡海翔;薛栋林;张学军;张海东;王晶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 吴乃壮 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学元件检测技术领域，特别涉及一种大口径反射镜面形的检测装置及检测方法，包括：干涉仪、球面标准镜、单光楔补偿器、待检镜和调整装置；球面标准镜放置在干涉仪和单光楔补偿器之间，待检镜放置在单光楔偿器的另一侧；干涉仪发出激光照射到球面标准镜上后转换为球面波，经单光楔补偿器之后照射在所述待检镜上，并被待检镜反射，再次经过单光楔补偿器、球面标准镜回到激光干涉仪并与球面标准镜参考面反射的参考光叠加，形成干涉条纹；通过调整各个部件的位置直至所述干涉条纹数目最少，以得到待检镜各个子孔径的面形信息。本申请提供的检测装置扩大了子孔径拼接检测的动态范围；减少了子孔径的数量和误差传递，提高了检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 反射 镜面形 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大口径反射镜面形的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：干涉仪、球面标准镜、单光楔补偿器、待检镜以及调整装置；所述球面标准镜放置在所述干涉仪和所述单光楔补偿器之间，所述待检镜放置在所述单光楔偿器的另一侧；其中，所述单光楔补偿器根据所述待检镜的几何参数进行设计得到，所述调整装置包括多个，分别放置在所述干涉仪、单光楔补偿器和待检镜的下方；所述干涉仪发出激光照射到所述球面标准镜上后转换为球面波；所述球面波经所述单光楔补偿器之后照射在所述待检镜上，并被所述待检镜反射，再次经过所述单光楔补偿器、球面标准镜回到所述激光干涉仪并与所述球面标准镜参考面反射的参考光叠加，形成干涉条纹；通过所述调整装置调整所述干涉仪和/或所述单光楔补偿器或/和所述待检镜的位置直至所述干涉条纹数目最少，以得到待检镜各个子孔径的面形信息。
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