[发明专利]平面铌靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201811618660.0 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109706427A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李兆博;马小文;汪凯;杜领会;宿康宁;李小平;李积贤;黄浩;杨烈;杜欣 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 张芳 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平面铌靶材的制备方法。其特点是，包括如下步骤：(1)取铌锭进行锻造，锻造的具体方式为径向型砧打圆轴向拔长，将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；(2)将步骤(1)得到的铌锭进行再次锻造，锻造的具体方式为90度换向压扁锻造，将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；(3)将步骤(2)得到的铌锭进行轧制得到铌板，对铌板进行热处理，得到平面铌靶材。本发明在轧制阶段使铌锭变形更均匀，并且在加工后配合中间的热处理工艺，使铌靶材的组织越来越均匀化，细化，最终得到组织均匀、晶粒度小于50μm的等轴晶组织平面铌靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 铌锭 锻造 铌靶 酸洗 热处理 轧制 制备 铌板 等轴晶组织 热处理工艺 晶粒度 均匀化 拔长 换向 细化 压扁 圆轴 变形 加工 配合 | ||
【主权项】：
1.一种平面铌靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)取铌锭进行锻造，锻造的具体方式为径向型砧打圆轴向拔长，将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；(2)将步骤(1)得到的铌锭进行再次锻造，锻造的具体方式为90度换向压扁锻造，将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；(3)将步骤(2)得到的铌锭进行轧制得到铌板，对铌板进行热处理，得到平面铌靶材。
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