[发明专利]靶材的处理装置及处理方法在审
| 申请号： | 201811621514.3 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111378941A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;寿奉粮 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23G1/14;C23F1/32;C23G3/00;C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的处理装置及处理方法，所述处理装置包括清洗架，所述清洗架内部设有通气管；所述通气管侧壁上具有通孔。处理方法中包括提供靶材；将所述靶材放置于清洗架内；所述通气管内气体通过所述通孔对所述靶材表面进行处理。通过所述通气管的作用使得所述靶材表面残留金属的脱落的更快，加快处理速度，节省人力，提高处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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