[发明专利]一种脉冲太赫兹源及其制造方法

摘要

本发明实施例公开一种脉冲太赫兹源及其制造方法。其中，所述脉冲太赫兹源包括天线、真空通道层和光阴极，天线包括衬底、馈电带和天线臂，馈电带和天线臂相连，馈电带和天线臂设置在衬底上，真空通道层包括至少一个聚焦电极和多个绝缘材料层，在真空通道层设置真空通道，真空通道贯穿真空通道层，光阴极和馈电带设置在真空通道的两端，相邻两个聚焦电极之间设置一个绝缘材料层，光阴极与相邻的聚焦电极之间设置一个绝缘材料层，馈电带与相邻的聚焦电极之间设置一个绝缘材料层，光阴极、真空通道层和馈电带之间形成密封腔，在光阴极与真空通道相对的一侧设置光阴极基底。本发明实施例提供的脉冲太赫兹源及其制造方法，提高了脉冲太赫兹源的功率。

主权项

1.一种脉冲太赫兹源，其特征在于，包括天线、真空通道层和光阴极，其中：所述天线包括衬底、馈电带和天线臂，所述馈电带和所述天线臂相连，所述馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，所述真空通道层包括至少一个聚焦电极和多个绝缘材料层，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述至少一个聚焦电极和所述多个绝缘材料层，所述光阴极和所述馈电带设置在所述真空通道的两端，相邻两个所述聚焦电极之间设置一个所述绝缘材料层，所述光阴极与相邻的所述聚焦电极之间设置一个所述绝缘材料层，所述馈电带与相邻的所述聚焦电极之间设置一个所述绝缘材料层，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。