[发明专利]复合结构的微加热板及其制作方法在审
| 申请号： | 201811622329.6 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109587846A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞 | 申请（专利权）人： | 苏州甫一电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/28 | 分类号： | H05B3/28;G01N27/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合结构的微加热板及其制作方法。所述的制作方法包括：于一第一衬底的第二表面加工形成空腔结构；于一第二衬底表面依次生长形成隔热层和第一绝缘层；将所述第一绝缘层与所述第一衬底的第一表面键合，所述第一表面与第二表面相背对，之后去除所述第二衬底；在所述隔热层上依次形成加热层、第二绝缘层和测试层。其中第一、第二衬底可以分别采用石英衬底、单晶硅衬底。本发明提供的复合结构的微加热板的结构简单、牢固，可靠性高，稳定性好，尤其是具有高效率的加热性能，同时其制备工艺简单易于操作，可以利用MEMS工艺快速实施，适于规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 绝缘层 复合结构 加热板 第二表面 第一表面 隔热层 制作 单晶硅 规模化生产 衬底表面 加热性能 空腔结构 制备工艺 测试层 高效率 加热层 石英衬 键合 去除 相背 生长 加工 | ||
【主权项】：
1.一种复合结构的微加热板的制作方法，其特征在于包括：于一第一衬底的第二表面加工形成空腔结构；于一第二衬底表面依次生长形成隔热层和第一绝缘层；将所述第一绝缘层与所述第一衬底的第一表面键合，所述第一表面与第二表面相背对，之后去除所述第二衬底；在所述隔热层上依次形成加热层、第二绝缘层和测试层。
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