[发明专利]一种跨尺度的薄膜应力测试系统及测试方法在审
| 申请号： | 201811622792.0 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111380633A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;陈志文;杨凡;王晨阳;马坤 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L1/25 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明设计了一种跨尺度的薄膜应力测试系统及测试方法，先将试样薄膜放置于试样板，通过氦氖激光经过不平整薄膜的反射光线，在阵线CCD的接受处理后光信号变成放大的电信号，计算机计算得到翘曲度，以及公式推导后得到薄膜宏观应力，确定需要进一步测量的区域。然后在不移动试样的情况下继续利用X射线衍射原理测量局部微观应力。X射线经过晶面反射得到若干束衍射线，利用X射线衍射条件得到晶面间变形，计算得到微观晶体受到应力。通过本发明的技术方法，可大大节省监测薄膜材料宏观翘曲状况和微观晶粒排列状态的时间与材料，并且根据测量结果实现对薄膜材料应力状态的检测。具有操作简单，快捷，节约时间成本，适用范围广泛的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 薄膜 应力 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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