[发明专利]选通管材料、选通管单元及存储器件结构有效

专利信息
申请号: 201811623426.7 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN111384238B 公开(公告)日: 2022-01-28
发明(设计)人: 朱敏;陈鑫;贾淑静;沈佳斌;宋志棠 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 代理人: 钱文斌
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种选通管材料、选通管单元及存储器件结构,选通管材料为至少包括Ge及S的化合物,所述选通管材料的化学通式为(GexS1‑x)1‑yMy,其中,M包括掺杂材料,且0.1≤x≤0.9、0≤y≤0.5。本发明的选通管材料选用GexS1‑x材料,该材料用于选通管单元时具有开通电流大、漏电流小、热稳定性好、材料简单及无毒性等优点;本发明的选通管材料通过在GexS1‑x材料中掺入掺杂材料,可以调节和优化该选通材料制作的选通管单元的阈值电压、开通电流及疲劳特性等性能;可以提高该选通材料制作的选通管单元的热稳定性、降低该选通材料制作的选通管单元的漏电流、增强该选通管材料制作的选通管单元的可重复性。
搜索关键词: 选通管 材料 单元 存储 器件 结构
【主权项】:
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