[发明专利]一种新型离子源在审
| 申请号： | 201811623526.X | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109473334A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 杨元才;褚景豫;王慧峰;钱鹏亮 | 申请（专利权）人： | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型离子源，包括底法兰、壳法兰、阴极法兰、绝缘套管、放电柱、进气装置、离子发生装置；底法兰的四周固定壳法兰；在壳法兰的顶部固定阴极法兰；在阴极法兰的顶部设置若干个放电柱安装孔；在放电柱安装孔内设置放电柱；进气装置设置在底法兰的圆心位置；进气装置穿过底法兰；穿入离子发生装置中并固定；进气装置与离子发生装置之间设置绝缘套管隔离；利用了本发明在结构上的改变，将阴极从单个零部件变成均布的几个点，使得发射的离子从以往的跑道形式变成整个面，这样的离子束流不仅密度大，均匀性好，方向性也强。同时由于轴向磁场的作用，离子能量也更高。 | ||
| 搜索关键词： | 进气装置 底法兰 电柱 离子发生装置 绝缘套管 新型离子 阴极法兰 安装孔 壳法兰 阴极 固定阴极法 顶部设置 均匀性好 离子能量 离子束流 圆心位置 轴向磁场 固定壳 整个面 穿入 法兰 均布 离子 零部件 跑道 隔离 穿过 发射 | ||
【主权项】：
1.一种新型离子源，其特征在于，包括底法兰、壳法兰、阴极法兰、绝缘套管、放电柱、进气装置、离子发生装置；所述的底法兰的四周固定所述的壳法兰；在所述的壳法兰的顶部固定阴极法兰；在所述的阴极法兰的顶部设置若干个放电柱安装孔；在放电柱安装孔内设置放电柱；所述的进气装置设置在底法兰的圆心位置；所述的进气装置穿过底法兰；穿入所述的离子发生装置中并固定；所述的进气装置与离子发生装置之间设置绝缘套管隔离。
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