[发明专利]多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备

摘要

本申请涉及一种多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，喷灯沿所述棒疏松体或者芯棒的轴向并排设置，并排设置后喷灯不需要往复运动，最大限度减少区间报废，喷灯能够全覆盖了整个芯棒的有效长度，因此可以最大限度减少由于喷灯带来的报废，且每每列纵向排布均包括呈弧形设置的4‑8个喷灯，通过多个喷灯同时喷吹燃料与助燃气体与硅源气体或者锗源气体，提高沉积速率，同时，在预制棒疏松体或者芯棒在喷吹到较大尺寸后，调整部分喷灯进入工作方式二，以提升预制棒疏松体或者芯棒表面温度，促进以工作方式一进行工作的喷灯喷射形成的颗粒生长，形成较大的颗粒以提升外包层密度。

主权项

1.一种多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，包括：沉积箱外壳，内具有腔体；夹具(2)，位于腔体内，用于夹持固定预制棒疏松体或者芯棒(3)，并能够在驱动装置的驱动下带动预制棒疏松体或者芯棒(3)转动；喷灯安装架(9)，位于腔体内；喷灯(4)，设置在喷灯安装架(9)上，所述喷灯(4)包括横向排布和纵向排布的多个，横向排布为沿所述棒疏松体或者芯棒(3)的中轴线平行排布，纵向排布为垂直于所述棒疏松体或者芯棒(3)的中轴线排布，每列纵向排布的所述喷灯(4)呈弧形排布，所述喷灯(4)具有以下两种工作方式，工作方式一：喷吹燃料与助燃气体与硅源气体或者锗源气体，工作方式二：仅喷吹燃料与助燃气体；尾灯(5)，位于喷灯安装架(9)的两侧，能够喷吹燃料与助燃气体；抽风系统(1)，用于抽走腔体内的气体，保持腔体内为负压环境。