[发明专利]一种可区分不同类型位错的透射电镜成像方法在审
| 申请号： | 201811623972.0 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109632849A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 黄俊;牛牧童;苏旭军;董晓鸣;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，包括：在普通透射电镜模式下，倾转样品，使电子束沿第一晶带轴入射，拍摄衍射谱并标定；根据标定倾转样品，使样品处于第一衍射矢量的双束衍射状态；将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器收集第一衍射矢量衍射束的衍射衬度图像；倾转样品，拍摄样品沿第二晶带轴的衍射谱，并标定；根据标定倾转样品，使样品的待观察位错区域先后处于两个不同的衍射矢量的双束衍射状态，并将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器分别收集这两个不同的衍射矢量衍射束的衍射衬度图像。本发明解决了传统的“双束”衍射无法区分多种伯格斯矢量的位错类型的问题，有利于更深入地揭示样品的位错演变规律。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 标定 倾转 位错 透射电镜 矢量 暗场成像 矢量衍射 衍射衬度 衍射谱 探测器 带轴 成像 电子束 图像 位错类型 演变规律 传统的 拍摄 入射 观察 | ||
【主权项】：
1.一种可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，其特征在于，包括：在普通透射电镜模式下，倾转样品，使电子束沿第一晶带轴入射，拍摄样品的衍射谱，并进行第一次标定；根据所述第一次标定倾转样品，使样品处于第一衍射矢量的双束衍射状态；将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器收集所述第一衍射矢量衍射束的衍射衬度图像；倾转样品，使电子束沿第二晶带轴入射，拍摄样品的衍射谱，并进行第二次标定，所述第一晶带轴与所述第二晶带轴不同；根据所述第二次标定倾转样品，使样品的待观察位错区域处于第二衍射矢量的双束衍射状态；将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器收集所述第二衍射矢量衍射束的衍射衬度图像；根据所述第二次标定倾转样品，使样品处于第三衍射矢量的双束衍射状态；将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器收集所述第三衍射矢量衍射束的衍射衬度图像。
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