[发明专利]利用半固态法提高合金法提纯多晶硅收率的方法有效
| 申请号： | 201811624760.4 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109850904B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 高忙忙;强璐;高昂;赵旭;祁雪燕;梁森;李海波 | 申请（专利权）人： | 宁夏大学 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 利用半固态法提高合金法提纯多晶硅收率的方法为配置提纯原料，将铝硅原料按照Al‑50wt%Si进行配比作为提纯原料；将提纯原料倒入反应炉中，通入氩气和氢气的混合气体，氩气与氢气的体积比为100:4，以将反应炉中的空气排出；按照8℃/min的速度提高反应炉的温度，直至反应炉中的温度升高至1450℃，并按照预定速度通入步骤S002中氩气和氢气的混合气体，以使反应炉维持惰性的气体环境；提纯原料在1450℃的条件下保温2h，然后按照8℃/min的速度进行降温至600℃，然后自然冷却至室温；对冷却至室温的提纯原料进行半固态处理，具体为提纯原料在室温时，按照20℃/s的速度升温至硅和铝的共晶温度以上，然后保温5～25min；自然冷却至室温，然后酸洗得到提纯后的多晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 固态 提高 合金 提纯 多晶 收率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用半固态法提高合金法提纯多晶硅收率的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤S001，配置提纯原料，将铝硅原料按照Al‑50wt%Si进行配比作为提纯原料；步骤S002，将提纯原料倒入反应炉中，通入氩气和氢气的混合气体，氩气与氢气的体积比为100:4，以将反应炉中的空气排出，防止铝和硅在高温状态下被空气氧化；步骤S003，按照8℃/min的速度提高反应炉的温度，直至反应炉中的温度升高至1450℃，并按照预定速度通入步骤S002中氩气和氢气的混合气体，以使反应炉维持惰性的气体环境；步骤S004，提纯原料在1450℃的条件下保温2h，然后按照8℃/min的速度进行降温至600℃，然后自然冷却至室温；步骤S005，对冷却至室温的提纯原料进行半固态处理，具体为提纯原料在室温时，按照20℃/s的速度升温至硅和铝的共晶温度以上，然后保温5～25min；步骤S006，对经过步骤S005保温后的提纯原料自然冷却至室温，然后酸洗得到提纯后的多晶硅。
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