[发明专利]一种靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201811625466.5 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111378937A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 陈宝忠;徐国军;张蛟;万捷 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 362005 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材的制备技术领域，具体涉及一种靶材的制备方法。本发明提供的靶材的制备方法，包括如下步骤：将粉末填充到模具中，通过振动使粉末在模具内填充密实；对填充密实后的粉末层进行热等静压烧结，然后进行后处理，得到所述靶材。本发明提供的制备方法工序简便，背衬管与靶材直接一体化等静压成型，实现了批量生产，大大缩短了生产周期，提高了粉末利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 方法 | ||
【主权项】：
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