[发明专利]一种薄膜晶片分离装置在审

专利信息
申请号: 201811625689.1 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN111383941A 公开(公告)日: 2020-07-07
发明(设计)人: 申兵兵;邹金成 申请(专利权)人: 深圳市永盛隆科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 代理人: 孟德栋
地址: 518112 广东省深圳市龙岗*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种薄膜晶片分离装置,包括吸附旋转组件、顶升组件和锁紧组件,吸附旋转组件包括吸板、固定座和旋转驱动件,吸板的一端为连接端,一端为自由端,连接端与固定座转动连接,吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜;顶升组件位于自由端的下方,顶升组件带动吸板向上运动,使得薄膜与晶片部分分离;锁紧组件设置于固定座上,用于将吸板锁紧固定,旋转驱动件与固定座连接,以驱动固定座带动吸板转动。本发明设置顶升组件来辅助分离,破解薄膜与晶片之间的液体张力,可以有效提高分离的成功率,减少分离失败引起的时间浪费,提高产能。
搜索关键词: 一种 薄膜 晶片 分离 装置
【主权项】:
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