[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 201811625800.7 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109787085A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 葛永晖;刘旺平;曹阳;王群;吕蒙普;胡加辉;李鹏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器及其制作方法，属于半导体技术领域。所述垂直腔面发射激光器包括衬底、下反射层、发光区、上反射层、上金属电极和下金属电极，所述下反射层、所述发光区、所述上反射层和所述上金属电极依次层叠在所述衬底的第一表面上，所述下金属电极设置在所述衬底的第二表面上，所述衬底的第二表面与所述衬底的第一表面相对，所述下反射层包括依次层叠的多个硼烯薄膜。本发明通过将下反射层从DBR结构改为依次层叠的多个硼烯薄膜，具有99％以上的反射率和几乎为0的吸光率，作用的波长范围覆盖从红外光到紫外光的整个波段，可以有效增强底部的反光效果，提高VCSEL的正面出光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 反射层 衬底 垂直腔面发射激光器 依次层叠 上金属电极 下金属电极 第二表面 第一表面 发光区 薄膜 红外光 半导体技术领域 正面出光效率 反光效果 范围覆盖 紫外光 反射率 吸光率 波长 波段 制作 | ||
【主权项】：
1.一种垂直腔面发射激光器，所述垂直腔面发射激光器包括衬底、下反射层、发光区、上反射层、上金属电极和下金属电极，所述下反射层、所述发光区、所述上反射层和所述上金属电极依次层叠在所述衬底的第一表面上，所述下金属电极设置在所述衬底的第二表面上，所述衬底的第二表面与所述衬底的第一表面相对，其特征在于，所述下反射层包括依次层叠的多个硼烯薄膜。
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