[发明专利]基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计有效
| 申请号： | 201811626393.1 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109765404B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 李村;韩超;赵玉龙;李波;张全伟;白冰 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计，芯片包括键合在硅基结构两侧的第一、第二石英结构，石英结构包括石英框架、双端固定石英音叉、石英支撑梁和石英质量块，硅基结构包括硅基框架和硅质量块；在石英框架和硅基框架处，以及石英质量块和硅质量块处完全键合，形成第一石英结构、硅基结构、第二石英结构的三明治形式；加工工艺是先进行硅基初加工，再进行硅基和两个石英片双面键合，两个石英片减薄和抛光，然后进行石英振梁电极及石英结构的制作，最后进行硅基结构的释放。本发明具有灵敏度高、成本低等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 qos 工艺 加速度计 芯片 加工 | ||
【主权项】：
1.基于QoS工艺的Z向敏感石英振梁加速度计芯片，其特征在于，自上而下依次包括第一石英结构(1)、硅基结构(2)和第二石英结构(3)；第一石英结构(1)和第二石英结构(3)结构相同；第一石英结构(1)包括石英框架(4)、双端固定石英音叉(5)、石英支撑梁(6)和石英质量块(7)；石英支撑梁(6)和双端固定石英音叉(5)平行设置；石英质量块(7)位于石英框架(4)内，石英支撑梁(6)的一端连接石英质量块(7)，另一端连接石英框架(4)；双端固定石英音叉(5)的一端连接石英质量块(7)，另一端连接石英框架(4)；石英框架(4)与石英质量块(7)之间形成石英刻蚀槽(8)；硅基结构(2)包括硅基框架(9)和硅质量块(11)，硅质量块(11)位于硅基框架(9)内，硅质量块(11)与硅基框架(9)之间形成硅释放槽(10)和硅基刻蚀槽(12)；硅基框架(9)与两侧的石英框架(4)分别对应并键合连接，硅基质量块(11)与两侧的石英质量块(7)分别对应并键合连接，硅释放槽(10)为第一石英结构(1)和第二石英结构(3)的双端固定石英音叉(5)和石英支撑梁(6)提供可动空间。
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