[发明专利]一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法有效

专利信息
申请号: 201811627155.2 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN111382586B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 耿辉;陈淮阳;郑教增;庞飞;郝凤龙 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G06K7/10 分类号: G06K7/10;G06K17/00
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法,所述掩模版条码扫描装置包括:光源单元、信号采集单元、电气处理单元及集成框架单元,所述光源单元产生条码扫描的检测光,所述信号采集单元采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号,所述电气处理单元处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息,实现了掩模版条码的动态扫描以及掩模版信息的动态采集,提高了掩模版条码扫描效率和扫描精度,提高了该装置的通用性。
搜索关键词: 一种 模版 条码 扫描 装置 传输 系统 方法
【主权项】:
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